一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马明前 ; 谢日阳 ; 陈士清 |
| 刊名 | 自动化仪表
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 超大规模集成电路 化学机械抛光 铜 抛光液 多层互连 |
| ISSN号 | 1000-0380 |
| 中文摘要 | 对压阻式传感器的温度补偿问题 ,介绍了一种由单片机控制的数据采集卡与PC构成的压阻式传感器批量测量及温度系数和补偿电阻自动计算系统。具体介绍系统的构成、硬件构造和软件计算原理。给出系统实验结果 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50023]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马明前,谢日阳,陈士清. 一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统[J]. 自动化仪表,2003(05). |
| APA | 马明前,谢日阳,&陈士清.(2003).一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统.自动化仪表(05). |
| MLA | 马明前,et al."一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统".自动化仪表 .05(2003). |
入库方式： OAI收割
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