液相外延YBCO膜中氧扩散
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张宏 ; 杜柯 ; 姚忻 ; 曾新华 |
| 刊名 | 低温物理学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | S1 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微传感器 微执行器 微机械技术 |
| ISSN号 | 1000-3258 |
| 中文摘要 | 采用原位等温电阻弛豫法探索了液相外延YBCO膜中氧扩散行为 ,得到氧化学扩散激活能E～ 1 .1eV . |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50065]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宏,杜柯,姚忻,等. 液相外延YBCO膜中氧扩散[J]. 低温物理学报,2003(S1). |
| APA | 张宏,杜柯,姚忻,&曾新华.(2003).液相外延YBCO膜中氧扩散.低温物理学报(S1). |
| MLA | 张宏,et al."液相外延YBCO膜中氧扩散".低温物理学报 .S1(2003). |
入库方式： OAI收割
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