MEMS传感器性能提高相关技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄树森 ; 李昕欣 ; 王跃林 ; 鲍敏杭 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 各向异性腐蚀 削角补偿 微镜 微机械加工 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 中文摘要 | 在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50083]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄树森,李昕欣,王跃林,等. MEMS传感器性能提高相关技术研究[J]. 仪表技术与传感器,2003(01). |
| APA | 黄树森,李昕欣,王跃林,&鲍敏杭.(2003).MEMS传感器性能提高相关技术研究.仪表技术与传感器(01). |
| MLA | 黄树森,et al."MEMS传感器性能提高相关技术研究".仪表技术与传感器 .01(2003). |
入库方式： OAI收割
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