中国科学院机构知识库网格系统: 准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO

文献类型：期刊论文


作者	章宁琳 ; 宋志棠 ; 邢溯 ; 万青 ; 林成鲁
刊名	中国激光
出版日期	2003
期号	04
关键词	微针药物传输基因传输微电子机械系统
ISSN号	0258-7025
中文摘要	采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ;讨论了薄膜结晶性能与其电学I V特性之间的关系。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50087]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	章宁琳,宋志棠,邢溯,等. 准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究[J]. 中国激光,2003(04).
APA	章宁琳,宋志棠,邢溯,万青,&林成鲁.(2003).准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究.中国激光(04).
MLA	章宁琳,et al."准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究".中国激光 .04(2003).

入库方式： OAI收割

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