功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 莫党 ; 李芳 ; 陈第虎 ; 郭扬铭 ; 魏爱香 |
| 刊名 | 功能材料
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 压阻式传感器 温度漂移 温度补偿 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| 中文摘要 | 用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的碳薄膜样品。测量了2.0～5.0eV光子能量范围内各个碳薄膜样品的椭偏光谱。发现该谱与碳薄膜中的sp键比例有明显的关系。我们提出一种较简便的分析解谱方法,分析所测得的各个椭偏光谱,半定量地确定各碳薄膜样品的sp3C键与sp2C键比例。所得结果还与同类样品的拉曼光谱与吸收光谱测量结果相比较,结果基本上是一致的。研究结果表明椭偏光谱方法可以发展成一种较简便的、对样品无损伤的测定功能碳薄膜中的sp3C键成 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50101]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 莫党,李芳,陈第虎,等. 功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究[J]. 功能材料,2003(05). |
| APA | 莫党,李芳,陈第虎,郭扬铭,&魏爱香.(2003).功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究.功能材料(05). |
| MLA | 莫党,et al."功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究".功能材料 .05(2003). |
入库方式： OAI收割
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