曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董健 ; 李昕欣 ; 王跃林 ; 张鲲 ; 宋朝晖 |
| 刊名 | 机械强度
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 高量程MEMS加速度计 灌封 弹性模量 有限元分析 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 中文摘要 | 给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ;悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面 ,一方面有效地提高悬臂梁的过载保护能力 ,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼 ,使之接近临界阻尼 ,有效抑制自由振动模态 ,提高测量精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50109]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董健,李昕欣,王跃林,等. 曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计[J]. 机械强度,2003(02). |
| APA | 董健,李昕欣,王跃林,张鲲,&宋朝晖.(2003).曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计.机械强度(02). |
| MLA | 董健,et al."曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计".机械强度 .02(2003). |
入库方式： OAI收割
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