一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄树森 ; 郭南翔 ; 黄晖 ; 宋朝辉 ; 李欣昕 ; 王跃林 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | Z1 |
| 关键词 | 生物微机电系统 植入式生物微系统 微机电系统 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 中文摘要 | 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50132]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄树森,郭南翔,黄晖,等. 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化[J]. 微纳电子技术,2003(Z1). |
| APA | 黄树森,郭南翔,黄晖,宋朝辉,李欣昕,&王跃林.(2003).一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化.微纳电子技术(Z1). |
| MLA | 黄树森,et al."一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化".微纳电子技术 .Z1(2003). |
入库方式： OAI收割
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