一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 非对称Y分支 正交模理论 集成光学 波导模式 |
| ISSN号 | 1001-9014 |
| 中文摘要 | 提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50153]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,焦继伟,熊斌,等. 一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作[J]. 红外与毫米波学报,2004(02). |
| APA | 冯飞,焦继伟,熊斌,&王跃林.(2004).一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作.红外与毫米波学报(02). |
| MLA | 冯飞,et al."一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作".红外与毫米波学报 .02(2004). |
入库方式： OAI收割
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