基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 双量子阱 子带跃迁 光学吸收 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计 ,其核心部分是一个 m× n的可动微镜阵列 ,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成 .在红外辐射的作用下 ,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制 ,即利用光调制原理完成光信号转换和增强 .采用体硅 MEMS技术 ,成功地制作出了 5 0×5 0的可动微镜阵列 .测试表明 :工艺一致性和残余应力对释放前后可动微镜表面粗糙度与平整度、可动微镜间初始相位以及可动微镜灵敏度的大小产生了重要影响 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50165]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,焦继伟,熊斌,等. 基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制[J]. 半导体学报,2004(04). |
| APA | 冯飞,焦继伟,熊斌,&王跃林.(2004).基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制.半导体学报(04). |
| MLA | 冯飞,et al."基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制".半导体学报 .04(2004). |
入库方式： OAI收割
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