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基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制

文献类型:期刊论文

作者冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名半导体学报
出版日期2004
期号04
关键词双量子阱 子带跃迁 光学吸收
ISSN号0253-4177
中文摘要提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计 ,其核心部分是一个 m× n的可动微镜阵列 ,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成 .在红外辐射的作用下 ,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制 ,即利用光调制原理完成光信号转换和增强 .采用体硅 MEMS技术 ,成功地制作出了 5 0×5 0的可动微镜阵列 .测试表明 :工艺一致性和残余应力对释放前后可动微镜表面粗糙度与平整度、可动微镜间初始相位以及可动微镜灵敏度的大小产生了重要影响
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50165]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
冯飞,焦继伟,熊斌,等. 基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制[J]. 半导体学报,2004(04).
APA 冯飞,焦继伟,熊斌,&王跃林.(2004).基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制.半导体学报(04).
MLA 冯飞,et al."基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制".半导体学报 .04(2004).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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