SIMOX大截面单模脊型光波导的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林志浪 ; 程新利 ; 王永进 ; 张峰 |
| 刊名 | 光电子·激光
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 半导体激光器 量子阱结构 应变 光增益谱 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| 中文摘要 | 以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon on insulator)为衬底,利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料,进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1.55μm的光,其传输损耗小于0.6dB/cm。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50169]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林志浪,程新利,王永进,等. SIMOX大截面单模脊型光波导的研制[J]. 光电子·激光,2004(01). |
| APA | 林志浪,程新利,王永进,&张峰.(2004).SIMOX大截面单模脊型光波导的研制.光电子·激光(01). |
| MLA | 林志浪,et al."SIMOX大截面单模脊型光波导的研制".光电子·激光 .01(2004). |
入库方式： OAI收割
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