具有复合埋层的新型SIMON材料的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 易万兵 ; 陈猛 ; 张恩霞 ; 刘相华 ; 陈静 ; 董业民 ; 金波 ; 刘忠立 ; 王曦 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | 防锈油膜 失效 导电机制 p型半导体 n型半导体 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 采用氮氧共注入方法制备了新型的 SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen) SOI材料 .采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析 ,发现 SIMON材料的结构和质量对注入条件和退火工艺非常敏感 .并对各种氮氧复合注入技术做了分析和比较 ,发现氮氧分次注入可以得到更好的结构和性能 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50186]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 易万兵,陈猛,张恩霞,等. 具有复合埋层的新型SIMON材料的制备[J]. 半导体学报,2004(07). |
| APA | 易万兵.,陈猛.,张恩霞.,刘相华.,陈静.,...&王曦.(2004).具有复合埋层的新型SIMON材料的制备.半导体学报(07). |
| MLA | 易万兵,et al."具有复合埋层的新型SIMON材料的制备".半导体学报 .07(2004). |
入库方式： OAI收割
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