注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张恩霞 ; 孙佳胤 ; 易万兵 ; 陈静 ; 金波 ; 陈猛 ; 张正选 ; 张国强 ; 王曦 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 人工心脏瓣膜 离子注入 等离子体浸没离子注入 离子束辅助沉积 血液相容性 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 采用氧氮共注的方法制备了氮氧共注隔离SOI(SIMON)圆片,对制备的样品进行了二次离子质谱和透射电镜分析,并对埋层结构与抗辐射性能的机理进行了分析。结果表明,注氮剂量较低时埋层质量较好。机理分析结果表明,圆片的抗辐照性能与埋层质量之间存在很密切的关系,埋层的绝缘性能是影响器件抗辐射效应的关键因素。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50197]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张恩霞,孙佳胤,易万兵,等. 注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究[J]. 功能材料与器件学报,2004(04). |
| APA | 张恩霞.,孙佳胤.,易万兵.,陈静.,金波.,...&王曦.(2004).注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 张恩霞,et al."注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究".功能材料与器件学报 .04(2004). |
入库方式： OAI收割
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