高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蒋玉齐 ; 程迎军 ; 张鲲 ; 李昕欣 ; 罗乐 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 丙型肝炎病毒(HCV) 基因芯片 基因型 测序 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 对双悬臂梁高量程MEMS加速度传感器的封装结构进行了1×105g峰值的半正弦加速度冲击载荷下的有限元响应分析。灌封胶弹性模量的变化对加速度计的输出信号(输出电压、悬臂梁的挠度)的影响可以忽略。输出电压曲线的峰值与解析解接近。加速度计的悬臂梁表现为有阻尼下的受迫振动,并表现出悬臂梁的固有频率特性。输出信号的峰值与加速度载荷的峰值均呈很好的线性关系。灌封胶的弹性模量大于4GPa时胶已经足够硬,适宜用于保护芯片。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50202]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋玉齐,程迎军,张鲲,等. 高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应[J]. 功能材料与器件学报,2004(04). |
| APA | 蒋玉齐,程迎军,张鲲,李昕欣,&罗乐.(2004).高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 蒋玉齐,et al."高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应".功能材料与器件学报 .04(2004). |
入库方式： OAI收割
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