力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型
文献类型：期刊论文
| 作者 | 车录锋 ; 徐志农 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 机械工程学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | SOI nMOSFET 氮注入 电子迁移率 阈值电压 |
| ISSN号 | 0577-6686 |
| 中文摘要 | 对于微机械电容式加速度计,为了检测微小电容变化,必须引入交直流电压驱动信号,然而该静电力的存在显著影响传感器的最大可靠工作范围。对准静态惯性信号和阶跃惯性信号,深入研究了力反馈加速度计的可靠工作范围,建立了不同偏压配置的驱动信号对引起吸合失效的临界加速度信号的影响模型。研究结果表明静电力对阶跃信号的影响要比准静态信号大,动态工作条件下所能承受的最大阶跃加速度信号比准静态信号要小一个数量因子。对于双边驱动的力反馈加速度计,正正偏压配置或正负偏压配置可以最大程度地减小驱动信号引起的传感器吸合失效,从而增大可靠 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50209]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,徐志农,熊斌,等. 力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型[J]. 机械工程学报,2004(10). |
| APA | 车录锋,徐志农,熊斌,&王跃林.(2004).力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型.机械工程学报(10). |
| MLA | 车录锋,et al."力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型".机械工程学报 .10(2004). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。