MEMS悬臂式开关的失效分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐欣 ; 郭方敏 ; 葛羽屏 ; 李成诗 ; 于绍欣 ; 朱荣锦 ; 赖宗声 ; 朱自强 ; 王跃林 ; 陆卫 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 霍尔效应 磁传感器 不等位电势 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1～ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50291]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐欣,郭方敏,葛羽屏,等. MEMS悬臂式开关的失效分析[J]. 传感技术学报,2004(03). |
| APA | 徐欣.,郭方敏.,葛羽屏.,李成诗.,于绍欣.,...&陆卫.(2004).MEMS悬臂式开关的失效分析.传感技术学报(03). |
| MLA | 徐欣,et al."MEMS悬臂式开关的失效分析".传感技术学报 .03(2004). |
入库方式： OAI收割
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