微小差分电容检测技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱武 ; 张佳民 ; 熊斌 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 刊名 | 测试技术学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 芯片键合 等温凝固 Cu/Sn体系 微结构 |
| ISSN号 | 1671-7449 |
| 中文摘要 | 在MEMS电容式加速度传感器的测试中,由于受单放大器开环增益有限的影响,提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的.针对这种情况,本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理,实验结果表明,电路可检测的最小差分电容可达到5aF(5×10-18F). |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50293]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱武,张佳民,熊斌,等. 微小差分电容检测技术的研究[J]. 测试技术学报,2004(03). |
| APA | 朱武,张佳民,熊斌,车录锋,&王跃林.(2004).微小差分电容检测技术的研究.测试技术学报(03). |
| MLA | 朱武,et al."微小差分电容检测技术的研究".测试技术学报 .03(2004). |
入库方式： OAI收割
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