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离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用

文献类型:期刊论文

作者柳襄怀 ; 朱宏 ; 任琮欣 ; 郑志宏 ; 徐静芳 ; 陈树德
刊名核技术
出版日期2004
期号05
关键词SOI材料 可调谐光衰减器 双脊型波导
ISSN号0253-3219
中文摘要栅电子发射是影响行波管工作性能和制约其使用寿命的主要因素。国内研制的导弹雷达制导用行波管因存在严重的栅电子发射现象,寿命只有70h,不能付诸军事应用。采用离子束增强沉积的方法在栅网表面沉积一层碳膜后,可有效地抑制栅电子发射,使行波管寿命超过了1000h,在军事和航天领域获得了成功应用。报导了低能离子束增强沉积类金刚石薄膜和高能离子束增强沉积类石墨碳膜的制备技术、结构性能及其在抑制栅电子发射中的应用和机理研究的结果。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50297]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
柳襄怀,朱宏,任琮欣,等. 离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用[J]. 核技术,2004(05).
APA 柳襄怀,朱宏,任琮欣,郑志宏,徐静芳,&陈树德.(2004).离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用.核技术(05).
MLA 柳襄怀,et al."离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用".核技术 .05(2004).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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