电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄卫东 ; 王旭洪 ; 王莉 ; 盛玫 ; 徐立强 ; Frank Stubhan ; 罗乐 |
| 刊名 | 腐蚀科学与防护技术
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 质子交换膜燃料电池 双极板 腐蚀 |
| ISSN号 | 1002-6495 |
| 中文摘要 | 测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数 ,进而计算出水汽扩散的激活能 ,定量比较了各种防护方法的效果。实验和模拟结果表明 :硅酮加氮化硅薄膜的双层防护可以显著改善电子模块的防水性能 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50333]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄卫东,王旭洪,王莉,等. 电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究[J]. 腐蚀科学与防护技术,2004(05). |
| APA | 黄卫东.,王旭洪.,王莉.,盛玫.,徐立强.,...&罗乐.(2004).电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究.腐蚀科学与防护技术(05). |
| MLA | 黄卫东,et al."电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究".腐蚀科学与防护技术 .05(2004). |
入库方式： OAI收割
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