一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄蓉 ; 焦继伟 ; 王跃林 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 载钌催化剂 硼氢化钠 氢气生成速率 微型质子交换膜燃料电池 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50351]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄蓉,焦继伟,王跃林. 一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关[J]. 功能材料与器件学报,2004(03). |
| APA | 黄蓉,焦继伟,&王跃林.(2004).一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 黄蓉,et al."一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关".功能材料与器件学报 .03(2004). |
入库方式： OAI收割
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