光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | 微悬臂梁 横向力 标定 原子力显微镜 微机电系统 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面的反射率为 0 .5时 ,能获得较大的输出反射光强和反衬度 ,并保证了输出反射光强尽可能地随微镜位移在 0～λ/ 4范围内呈线性变化 ;可动微镜的温度响应值可达 2 .0 5× 10 -4,噪声等效温差为19.5mK ,热响应时间为 1.5 4× 10 -3 s。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50367]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,焦继伟,熊斌,等. 光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计[J]. 光学学报,2004(11). |
| APA | 冯飞,焦继伟,熊斌,&王跃林.(2004).光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计.光学学报(11). |
| MLA | 冯飞,et al."光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计".光学学报 .11(2004). |
入库方式： OAI收割
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