硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨尊先 ; 李昕欣 ; 王跃林 ; 鲍海飞 ; 刘民 ; 陆德仁 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | 塑料封装 湿度传感器 水汽扩散 有限元分析 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加热电阻与温度间二次关系曲线 .在此基础上对器件进行微秒级瞬态电热特性分析和测试 ,测试结果与理论计算结果和有限元模拟结果都有较好的吻合 .测试结果表明在 4 V脉冲电压下 ,加热时间为 3μs时 ,针尖温度达到 4 6 3.1 5 K,相应的加热电阻的降温时间常数为 6 .2 μs |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50377]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨尊先,李昕欣,王跃林,等. 硅基纳机电探针及其敏感和执行特性[J]. 半导体学报,2004(07). |
| APA | 杨尊先,李昕欣,王跃林,鲍海飞,刘民,&陆德仁.(2004).硅基纳机电探针及其敏感和执行特性.半导体学报(07). |
| MLA | 杨尊先,et al."硅基纳机电探针及其敏感和执行特性".半导体学报 .07(2004). |
入库方式： OAI收割
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