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四阱耦合InGa As/InAl As/InP量子级联激光器材料的结构特性研究

文献类型:期刊论文

作者李华 ; 李爱珍
刊名稀有金属
出版日期2004
期号03
关键词软件无线电 中频数字化 多速率信号处理 高效数字滤波器 重配置
ISSN号0258-7076
中文摘要报道了用气态源分子束外延 (GSMBE)技术生长的InAlAs/InGaAs四阱耦合量子级联激光器 (QCL)材料的结构特性。X射线双晶回摆曲线谱测量结果表明所生长的QCL有源区的界面 (含 770层外延层 )、厚度达到单厚子层控制 ,组份波动≤ 1% ,晶格失配≤ 1× 10 - 3。采用特殊的优化工艺 ,Φ5 0mm外延片的表面缺路陷密度降至 1× 10cm- 2 ,达到了器件质量的要求。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50409]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
李华,李爱珍. 四阱耦合InGa As/InAl As/InP量子级联激光器材料的结构特性研究[J]. 稀有金属,2004(03).
APA 李华,&李爱珍.(2004).四阱耦合InGa As/InAl As/InP量子级联激光器材料的结构特性研究.稀有金属(03).
MLA 李华,et al."四阱耦合InGa As/InAl As/InP量子级联激光器材料的结构特性研究".稀有金属 .03(2004).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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