转动竖直镜面的微机械光开关
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨艺榕 ; 刘文平 ; 王跃林 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 智能传感器 无线传感器网络 路由协议 自组网 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50416]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨艺榕,刘文平,王跃林,等. 转动竖直镜面的微机械光开关[J]. 功能材料与器件学报,2004(01). |
| APA | 杨艺榕,刘文平,王跃林,&吴亚明.(2004).转动竖直镜面的微机械光开关.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 杨艺榕,et al."转动竖直镜面的微机械光开关".功能材料与器件学报 .01(2004). |
入库方式： OAI收割
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