一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈永 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 车录锋 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 中国机械工程
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 光伏 串接太阳电池 化合物半导体 InGaP/GaAs |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 中文摘要 | 介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺。该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块 ,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测。对陀螺进行了结构设计和分析。在陀螺芯片的制作过程中 ,解决了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题。初步测试结果表明 ,该陀螺灵敏度和非线性度比较理想。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50418]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永,焦继伟,熊斌,等. 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺[J]. 中国机械工程,2004(02). |
| APA | 陈永,焦继伟,熊斌,车录锋,李昕欣,&王跃林.(2004).一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺.中国机械工程(02). |
| MLA | 陈永,et al."一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺".中国机械工程 .02(2004). |
入库方式： OAI收割
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