一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈雪萌 ; 宋朝晖 ; 李欣昕 ; 王跃林 ; 张鲲 ; 焦继伟 ; 杨恒 |
| 刊名 | 传感器技术
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 12 |
| 关键词 | 相变型半导体存储器 相变材料 器件设计 器件失效 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50444]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈雪萌,宋朝晖,李欣昕,等. 一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造[J]. 传感器技术,2004(12). |
| APA | 陈雪萌.,宋朝晖.,李欣昕.,王跃林.,张鲲.,...&杨恒.(2004).一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造.传感器技术(12). |
| MLA | 陈雪萌,et al."一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造".传感器技术 .12(2004). |
入库方式： OAI收割
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