基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖素艳 ; 车录锋 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | 陀螺 电容式 检测 分辨率 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性,其电阻温度系数达0.0023/℃。与固态聚酰亚胺膜衬底相比,采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难:其一,消除了涂聚酰亚胺衬底与载体界面之间的气泡,聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度;其二,制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50460]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖素艳,车录锋,李昕欣,等. 基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究[J]. 光学精密工程,2005(06). |
| APA | 肖素艳,车录锋,李昕欣,&王跃林.(2005).基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究.光学精密工程(06). |
| MLA | 肖素艳,et al."基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究".光学精密工程 .06(2005). |
入库方式： OAI收割
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