玻璃基硅光波导的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李广波 ; 龙文华 ; 贾科淼 ; 江晓清 ; 王明华 ; 王跃林 ; 杨建义 |
| 刊名 | 光学仪器
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | Fe-Zr-B合金 非晶薄膜 热处理 |
| ISSN号 | 1005-5630 |
| 中文摘要 | 采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料。所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SO I)材料。当所用SO I材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RM S粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右。采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SO I材料上制作出的光波导相当。这种光波导材料既具有SO I材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50464]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李广波,龙文华,贾科淼,等. 玻璃基硅光波导的研制[J]. 光学仪器,2005(06). |
| APA | 李广波.,龙文华.,贾科淼.,江晓清.,王明华.,...&杨建义.(2005).玻璃基硅光波导的研制.光学仪器(06). |
| MLA | 李广波,et al."玻璃基硅光波导的研制".光学仪器 .06(2005). |
入库方式： OAI收割
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