基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨尊先 ; 于映 ; 林丽华 ; 李昕欣 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 测试系统 虚拟仪器 小卫星 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50482]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨尊先,于映,林丽华,等. 基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究[J]. 传感技术学报,2005(04). |
| APA | 杨尊先,于映,林丽华,&李昕欣.(2005).基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究.传感技术学报(04). |
| MLA | 杨尊先,et al."基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究".传感技术学报 .04(2005). |
入库方式： OAI收割
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