立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 余萍 ; 吴惠桢 ; 陈奶波 ; 徐天宁 |
| 刊名 | 材料研究学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 光波导 光波分复用器/解复用器 集成光学 |
| ISSN号 | 1005-3093 |
| 中文摘要 | 采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜表面平整,均呈立方结构,且具有高度的(001)择优取向.立方MgxZn1-xO薄膜具有从紫外到近红外波段良好的透明性,折射率为1.7-1.8,随着波长的增大或Mg组分的增大而降低 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50497]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余萍,吴惠桢,陈奶波,等. 立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能[J]. 材料研究学报,2005(03). |
| APA | 余萍,吴惠桢,陈奶波,&徐天宁.(2005).立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能.材料研究学报(03). |
| MLA | 余萍,et al."立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能".材料研究学报 .03(2005). |
入库方式： OAI收割
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