微机械面型微加热器的热学分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴雷 ; 李铁 ; 王立春 ; 王翊 ; 王跃林 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 离子束辅助沉积 铪膜 择优取向 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50501]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴雷,李铁,王立春,等. 微机械面型微加热器的热学分析[J]. 功能材料与器件学报,2005(04). |
| APA | 吴雷,李铁,王立春,王翊,&王跃林.(2005).微机械面型微加热器的热学分析.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 吴雷,et al."微机械面型微加热器的热学分析".功能材料与器件学报 .04(2005). |
入库方式： OAI收割
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