梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董林玺 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 硅 微机械 陀螺 微机械加工技术 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ,对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ,当电容极板间的倾斜角由 0 1°变到 0 5°时 ,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容极板完全平行时的 0 4 5 ,0 5 6 .对力平衡的双边梳齿电容结构 ,当倾斜角由 0 1°变到 0 15°时 ,可靠工作范围分别变为原来的 0 92 5 .并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理 ,讨论了改进方法 . |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50507]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董林玺,车录锋,王跃林. 梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响[J]. 半导体学报,2005(02). |
| APA | 董林玺,车录锋,&王跃林.(2005).梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响.半导体学报(02). |
| MLA | 董林玺,et al."梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响".半导体学报 .02(2005). |
入库方式： OAI收割
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