带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 程保罗 ; 李昕欣 ; 王跃林 ; 焦继伟 ; 车录锋 ; 杨恒 ; 戈肖鸿 ; 宋朝晖 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 智能材料 智能结构 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50509]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程保罗,李昕欣,王跃林,等. 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. 半导体学报,2005(03). |
| APA | 程保罗.,李昕欣.,王跃林.,焦继伟.,车录锋.,...&宋朝晖.(2005).带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器.半导体学报(03). |
| MLA | 程保罗,et al."带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器".半导体学报 .03(2005). |
入库方式： OAI收割
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