NEMS谐振器的研究与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋达 ; 刘文平 ; 李铁 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 电子器件
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 硅压阻应力传感器 粘接剂 残余应力 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| 中文摘要 | 介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50527]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋达,刘文平,李铁,等. NEMS谐振器的研究与分析[J]. 电子器件,2005(01). |
| APA | 宋达,刘文平,李铁,李昕欣,&王跃林.(2005).NEMS谐振器的研究与分析.电子器件(01). |
| MLA | 宋达,et al."NEMS谐振器的研究与分析".电子器件 .01(2005). |
入库方式： OAI收割
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