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偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析

文献类型:期刊论文

作者董林玺 ; 孙玲玲 ; 王跃林
刊名机械强度
出版日期2005
期号04
关键词PCR微芯片 传热 数值模拟
ISSN号1001-9669
中文摘要为了测得电容式传感器的电容变化,一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上,然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件。文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时,不同偏置电压极性对可靠工作条件的影响,得到不同偏置电压极性下传感器的临界阶跃加速度与随测试信号电压和反馈系数的关系表达式及其变化曲线。结果表明若偏置电压极性为正—正或正—负配置,其电子机械反馈本质上是负反馈,且偏置电压极性为正—负配置时,传感器承受阶跃加速度冲击的能力最强。若偏置电压极性为负—负或负—正配置,其电子机械反
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50581]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
董林玺,孙玲玲,王跃林. 偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析[J]. 机械强度,2005(04).
APA 董林玺,孙玲玲,&王跃林.(2005).偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析.机械强度(04).
MLA 董林玺,et al."偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析".机械强度 .04(2005).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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