梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董林玺 ; 孙玲玲 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 单粒子翻转 容错 硬件冗余 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50589]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董林玺,孙玲玲,车录锋,等. 梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响[J]. 传感技术学报,2005(03). |
| APA | 董林玺,孙玲玲,车录锋,&王跃林.(2005).梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响.传感技术学报(03). |
| MLA | 董林玺,et al."梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响".传感技术学报 .03(2005). |
入库方式： OAI收割
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