一种新结构硅微机械压阻加速度计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈雪萌 ; 李昕欣 ; 宋朝晖 ; 王跃林 ; 黄晖 ; 黄树森 ; 张鲲 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 集成光学 光波导 硅 键合 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50591]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,等. 一种新结构硅微机械压阻加速度计[J]. 传感技术学报,2005(03). |
| APA | 陈雪萌.,李昕欣.,宋朝晖.,王跃林.,黄晖.,...&张鲲.(2005).一种新结构硅微机械压阻加速度计.传感技术学报(03). |
| MLA | 陈雪萌,et al."一种新结构硅微机械压阻加速度计".传感技术学报 .03(2005). |
入库方式： OAI收割
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