1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 龙文华 ; 李广波 ; 贾科淼 ; 屈红昌 ; 唐衍哲 ; 吴亚明 ; 杨建义 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 09 |
| 关键词 | 高温超导体 传输性质 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50593]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龙文华,李广波,贾科淼,等. 1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制[J]. 半导体学报,2005(09). |
| APA | 龙文华.,李广波.,贾科淼.,屈红昌.,唐衍哲.,...&王跃林.(2005).1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制.半导体学报(09). |
| MLA | 龙文华,et al."1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制".半导体学报 .09(2005). |
入库方式： OAI收割
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