超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计
文献类型:期刊论文
| 作者 | 贾晓玲 ; 高凡 ; 张峰 |
| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 滑膜阻尼 电容检测 栅形结构 |
| ISSN号 | 1001-5868 |
| 中文摘要 | 提出一种基于SOI材料的超紧凑型3×3 MMI波导光开关,开关仅有一个多模波导,且多模波导采用更为紧凑的双曲结构。用FD-BPM方法对其各个状态进行了模拟和分析,并对器件的结构参数进行了优化设计。结果表明,这种光开关可以成功实现任意两输入和输出通道间的开关功能,优化后的开关呈现优良的综合性能,且整个器件的尺寸小于4 mm。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50614] ![]() |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾晓玲,高凡,张峰. 超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计[J]. 半导体光电,2005(04). |
| APA | 贾晓玲,高凡,&张峰.(2005).超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计.半导体光电(04). |
| MLA | 贾晓玲,et al."超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计".半导体光电 .04(2005). |
入库方式: OAI收割
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