原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 鲍海飞 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 测试技术学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | Ge-SiO2薄膜 磁控溅射 光致发光 |
| ISSN号 | 1671-7449 |
| 中文摘要 | 利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.本文简要地论述了原子力显微镜中微悬臂梁的形变光反射原理和探针与表面的接触刚度理论,阐明了微悬臂梁横向力标定的重要性,综述了目前几种微悬臂梁/探针横向力的标定方法、简单的推倒过程和特点. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50663]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍海飞,李昕欣,王跃林. 原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定[J]. 测试技术学报,2005(01). |
| APA | 鲍海飞,李昕欣,&王跃林.(2005).原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定.测试技术学报(01). |
| MLA | 鲍海飞,et al."原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定".测试技术学报 .01(2005). |
入库方式： OAI收割
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