硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王浙辉 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感器技术
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | MC-CDMA 串行干扰消除 软输入软输出译码 EM 信道估计 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 在(100)硅上制作边沿<100>晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿<100>晶向掩模的凸角补偿技术,提出了2种凸角补偿图形,并应用于竖直微镜制作。实验表明“工”形补偿可获得方正的反射面;“Y”形补偿的微镜,反射面呈底角为75.96°的梯形。经补偿后的微镜,可提高光开关切换光束效率。讨论了(100)硅的<100>晶向掩模凸角补偿技术应用于微机械加速度计质量块制作的可能性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50676]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浙辉,李昕欣,王跃林. 硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用[J]. 传感器技术,2005(07). |
| APA | 王浙辉,李昕欣,&王跃林.(2005).硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用.传感器技术(07). |
| MLA | 王浙辉,et al."硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用".传感器技术 .07(2005). |
入库方式： OAI收割
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