大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈永 ; 焦继伟 ; 王惠泉 ; 金仲和 ; 张颖 ; 熊斌 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 电子战 分布式通信对抗系统 分布式通信对抗网络 无线传感器网络 传感节点 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声 .制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性 .结果表明 ,该陀螺的噪声谱密度不超过 6 0 μV/Hz,灵敏度为 10mV/(°·s-1) .该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50744]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永,焦继伟,王惠泉,等. 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. 半导体学报,2005(01). |
| APA | 陈永.,焦继伟.,王惠泉.,金仲和.,张颖.,...&王跃林.(2005).大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性.半导体学报(01). |
| MLA | 陈永,et al."大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性".半导体学报 .01(2005). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。