用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈聪 ; 郑丹 ; 张熙贵 ; 杨辉 ; 夏保佳 ; 李昕欣 |
| 刊名 | 电源技术
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 功率PHEMT MMIC功率放大器 全芯片级电磁场仿真 |
| ISSN号 | 1002-087X |
| 中文摘要 | 采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561M |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50785]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈聪,郑丹,张熙贵,等. 用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究[J]. 电源技术,2006(04). |
| APA | 陈聪,郑丹,张熙贵,杨辉,夏保佳,&李昕欣.(2006).用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究.电源技术(04). |
| MLA | 陈聪,et al."用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究".电源技术 .04(2006). |
入库方式： OAI收割
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