微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙远程 ; 鲍敏杭 ; 杨恒 ; 黄宜平 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 微机电系统 扭转微镜面 驱动器 键合减薄 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流出所引起的阻尼效应的修正项,并考虑了槽中有限气流通道长度的端头修正.在适当的边界条件下,利用此方程可以求解槽板压膜阻尼的压强分布、阻尼力和阻尼力系数.该槽板结构压膜空气阻尼的微分方程对槽板的厚度和横向尺度没有限制,为分析有限尺寸和有限厚度槽板的压膜空气阻尼提供了一个有用的方法. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50791]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙远程,鲍敏杭,杨恒,等. 微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文)[J]. 半导体学报,2006(03). |
| APA | 孙远程,鲍敏杭,杨恒,&黄宜平.(2006).微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文).半导体学报(03). |
| MLA | 孙远程,et al."微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文)".半导体学报 .03(2006). |
入库方式： OAI收割
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