硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许宝建 ; 乔治 ; 金庆辉 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 关键词 | MEMS加速度传感器 检测电路 分辨力 噪声 |
| 中文摘要 | 介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片。基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题。在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%。计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50797]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许宝建,乔治,金庆辉,等. 硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究[J]. 微细加工技术,2006(04). |
| APA | 许宝建,乔治,金庆辉,&赵建龙.(2006).硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究.微细加工技术(04). |
| MLA | 许宝建,et al."硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究".微细加工技术 .04(2006). |
入库方式： OAI收割
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