基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 乔治 ; 许宝建 ; 周洪波 ; 金庆辉 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | 镍氢电池 充放电 热分析 模拟 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样。同时当微管道尺寸小于40μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50803]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔治,许宝建,周洪波,等. 基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计[J]. 微细加工技术,2006(06). |
| APA | 乔治,许宝建,周洪波,金庆辉,&赵建龙.(2006).基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计.微细加工技术(06). |
| MLA | 乔治,et al."基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计".微细加工技术 .06(2006). |
入库方式： OAI收割
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