PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐天宁 ; 吴惠桢 ; 斯剑霄 ; 曹春芳 ; 黄占超 |
| 刊名 | 材料研究学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | SIMOX SOI Si离子注入 总剂量辐照效应 pseudo-MOS |
| ISSN号 | 1005-3093 |
| 中文摘要 | 用分子束外延技术在BaF_2(111)衬底上生长了PbSe单晶薄膜,观测了表面形貌和微结构．结果表明,在高Se/PbSe束流比(≥0．4)条件下,PbSe按照二维层状模式生长,外延层中的应力通过位错滑移发生塑性形变而获得充分弛豫,获得的PbSe薄膜是具有单原子层平整度的表面台阶和螺旋结构；降低Se/PbSe束流比至0．2,首次在PbSe样品表面观察到规则的三角形纳米孔状结构；当Se/PbSe束流比为0时,PbSe薄膜表面出现三维岛状结构,应力只能得到部分弛豫．在BaF_2(111)衬底上分子束外延生长Pb |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50809]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐天宁,吴惠桢,斯剑霄,等. PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构[J]. 材料研究学报,2006(06). |
| APA | 徐天宁,吴惠桢,斯剑霄,曹春芳,&黄占超.(2006).PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构.材料研究学报(06). |
| MLA | 徐天宁,et al."PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构".材料研究学报 .06(2006). |
入库方式： OAI收割
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