SOI基光学电流传感器的设计与仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵本刚 ; 刘玉菲 ; 穆参军 ; 徐静 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 光电子·激光
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 12 |
| 关键词 | SU-8 微阵列 微喷阵列芯片 微制作 免疫测定 抗原抗体反应 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| 中文摘要 | 将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100~3600A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB/A,温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0.2%。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50815]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵本刚,刘玉菲,穆参军,等. SOI基光学电流传感器的设计与仿真[J]. 光电子·激光,2006(12). |
| APA | 赵本刚,刘玉菲,穆参军,徐静,&吴亚明.(2006).SOI基光学电流传感器的设计与仿真.光电子·激光(12). |
| MLA | 赵本刚,et al."SOI基光学电流传感器的设计与仿真".光电子·激光 .12(2006). |
入库方式： OAI收割
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