曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨尊先 ; 李昕欣 ; 于映 |
| 刊名 | 光电工程
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 09 |
| ISSN号 | 1003-501X |
| 关键词 | 微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀 |
| 中文摘要 | 利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时,输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应;随着阻尼带隙变宽,悬臂梁固有频率振动渐突显,响应峰值电压也近线性增加,而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下,阻尼介 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50861]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨尊先,李昕欣,于映. 曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究[J]. 光电工程,2006(09). |
| APA | 杨尊先,李昕欣,&于映.(2006).曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究.光电工程(09). |
| MLA | 杨尊先,et al."曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究".光电工程 .09(2006). |
入库方式： OAI收割
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