原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙明达 ; 韩晓东 ; 张晓娜 ; 张泽 ; 刘波 ; 宋志棠 ; 封松林 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | S1 |
| 关键词 | 微电子机械系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器 滤波 温度补偿 |
| ISSN号 | 1000-6281 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50865]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙明达,韩晓东,张晓娜,等. 原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化[J]. 电子显微学报,2006(S1). |
| APA | 孙明达.,韩晓东.,张晓娜.,张泽.,刘波.,...&封松林.(2006).原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化.电子显微学报(S1). |
| MLA | 孙明达,et al."原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化".电子显微学报 .S1(2006). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。