偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陆梅君 ; 金晓亮 ; 毛智彪 ; 梁强 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 09 |
| 关键词 | 移动无线城域网 网络安全 完备性 健壮性 |
| ISSN号 | 1003-353X |
| 中文摘要 | 提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,节省了光罩出版的时间。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50874]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆梅君,金晓亮,毛智彪,等. 偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正[J]. 半导体技术,2006(09). |
| APA | 陆梅君,金晓亮,毛智彪,&梁强.(2006).偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正.半导体技术(09). |
| MLA | 陆梅君,et al."偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正".半导体技术 .09(2006). |
入库方式： OAI收割
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